按照組成潔凈隧道的設備不同，潔凈隧道可分為以下幾種形式。
(1)臺式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是將潔凈工作臺相互連接在一起，并取消中間的側壁，組成生產需要的隧道型生產線。當工藝要求垂直層流時，可選用垂直層流工作臺。當工藝要求水平層流時，則選用水平層流工作臺。這種凈化方式較全室凈化更易保證局部空間的高潔凈度，并由于工作臺相互連接，可以減少或防止交叉污染。此外，對建筑的要求比較簡單，只要求具備亂流潔凈室的環境即可。其缺點是潔凈工作臺的尺寸固定，使操作面缺乏足夠的靈活性，工藝設備必須適應工作臺的尺寸，調整起來也不大方便。
(2)棚式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是將潔凈棚，即棚式垂直層流單元串聯在一條生產線上所組成的。根據工藝要求，潔凈棚的面積可以變化，空氣可以全部為室內循環式，也可連通集中式凈化空調系統，吸取部分新風。棚式潔凈隧道適合于工藝設備較大的場所。
(3)罩式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是將層流罩，即罩式垂直層流單元串聯在一條生產線上所組成的。由于層流罩的進深比潔凈棚小，只適用于工藝設備較小的場所。空氣循環方式與棚式潔凈隧道和臺式潔凈隧道相同，是目前采用較多的一種潔凈隧道。
(4)集中送風式潔凈隧道
這種形式的潔凈隧道是由集中式送風系統的滿布高效過濾器的靜壓箱所組成的。層流工作區的寬度可依照工藝提出的要求確定，而不像臺式、棚式和罩式潔凈隧道那樣，因局部凈化設備的尺寸而限制層流工作區的寬度，設計可以更為靈活。采用這種形式時，回風可以通過技術夾道，也可像圖這樣，在亂流操作活動區設置地溝。此外，工業管道可布置在工作區的沿壁板一側，排風管接至地溝。
潔凈隧道的特點如下：
(1)在隧道內造成不同的潔凈度，從而充分利用了不同潔凈氣流的特性，最大限度地滿足工藝要求。一般情況下，隧道內的兩側是高潔凈度的層流工作區，中間是亂流的操作活動區。工藝區連成一條線，使用方便，人員的活動也不會引起交叉污染。
(2)由于在隧道內減少了層流面積，基建費用和運行費用要比全室凈化的垂直層流潔凈室節約三分之一以上。亂流活動操作區的凈高較層流工藝區高得多，能滿足人員舒適感的要求。
(3)技術夾道既可作為回風道，又可布置各種工業管道，安裝工藝輔助設備。組成潔凈隧道的局部凈化設備(潔凈工作臺、潔凈棚和層流罩等)、工業管道以及工藝輔助設備的維修均可在技術夾道內進行。由于技術夾道相對于潔凈隧道為負壓，因此，維修工作不會引起潔凈隧道的污染，維修工作可在不停止工藝生產的情況下進行。
潔凈隧道所需的局部凈化設備、頂棚、壁板、回風口及門窗等構件，可以標準化、模數化，由專業工廠加工生產，在現場組裝。同時，潔凈隧道可以迅速拆裝，重新組合，為工藝變化提供了方便。
(4)潔凈隧道可以按一定規模配置凈化空調系統，因此空調系統可通用化、系列化，從而可以大大縮短設計周期。
(5)一般情況下，潔凈隧道對于建筑方面的要求比較簡單，只要具備亂流潔凈室的環境，即可滿足要求。
